隨著集成電路的微小化和納米電子學(xué)的飛速發(fā)展，使新型納米材料制備、器件加工及封裝測(cè)試等領(lǐng)域要需展開廣泛的研究，這就提出來(lái)對(duì)超常規(guī)的大型科學(xué)裝置的急切需求。

      但是由于對(duì)納米器件研究的認(rèn)識(shí)與投入不足，特別是納米加工設(shè)施和納米加工技術(shù)相對(duì)落后，使得我國(guó)在這一領(lǐng)域整體的科研和應(yīng)用水平與發(fā)達(dá)國(guó)家差距拉大。因此，研制具有的材料生長(zhǎng)、微納加工、器件封裝測(cè)試的強(qiáng)大功能真空互聯(lián)系統(tǒng)，成為了急需突破的瓶頸，具有極其重要的戰(zhàn)略意義。

      “我國(guó)現(xiàn)有的大科學(xué)裝置基本是圍繞基本粒子、宇宙探測(cè)以及由此發(fā)展的各類加速器。但面對(duì)二十一世紀(jì)科技發(fā)展的需求，圍繞納米領(lǐng)域建設(shè)大型科學(xué)研究設(shè)施，已經(jīng)成為了不能回避的問(wèn)題。”在日前召開的以“支撐納米科技發(fā)展的大型基礎(chǔ)科學(xué)設(shè)施——現(xiàn)狀與展望”為主題的第433次香山科學(xué)會(huì)議上，與會(huì)專家就此問(wèn)題達(dá)成了基本共識(shí)。

      集成電路的微小化和納米電子學(xué)的飛速發(fā)展，激發(fā)人們?cè)谛滦图{米材料制備、器件加工及封裝測(cè)試等領(lǐng)域展開廣泛研究，這就提出來(lái)對(duì)超常規(guī)的大型科學(xué)裝置的急切需求。據(jù)了解，目前除了常規(guī)的超凈間加工平臺(tái)外，一些國(guó)外的*實(shí)驗(yàn)室，如美國(guó)Argonne國(guó)家實(shí)驗(yàn)室嘗試性建設(shè)了一些真空互聯(lián)裝置，歐洲和日本的一些大學(xué)和研究所也在不斷地加入。

      雖然我國(guó)在納米材料方面展開了許多研究，并取得了許多創(chuàng)新性科研和轉(zhuǎn)化成果。然而，由于對(duì)納米器件研究的認(rèn)識(shí)與投入不足，特別是納米加工設(shè)施和納米加工技術(shù)相對(duì)落后，使得我國(guó)在這一領(lǐng)域整體的科研和應(yīng)用水平與發(fā)達(dá)國(guó)家差距拉大。因此，研制具有的材料生長(zhǎng)、微納加工、器件封裝測(cè)試的強(qiáng)大功能真空互聯(lián)系統(tǒng)，成為了急需突破的瓶頸，具有極其重要的戰(zhàn)略意義。

      據(jù)本次會(huì)議執(zhí)行主席之一、中科院蘇州納米技術(shù)與納米仿生研究所楊輝研究員介紹，目前國(guó)內(nèi)多家科研機(jī)構(gòu)正在規(guī)劃、籌建“納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站”，其目標(biāo)是在未來(lái)5—10年內(nèi)，建立一個(gè)真空環(huán)境的機(jī)械和控制互聯(lián)系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)無(wú)機(jī)到有機(jī)的材料制備、器件加工與封裝、以及各種條件下測(cè)試的綜合研究的設(shè)施，通過(guò)真空互聯(lián)解決在材料生長(zhǎng)、器件工藝環(huán)節(jié)、測(cè)試分析以及樣品轉(zhuǎn)移中水氧等雜質(zhì)污染問(wèn)題；提供本征條件下材料、器件結(jié)構(gòu)及其性能關(guān)系的科學(xué)研究平臺(tái)；突破現(xiàn)有材料生長(zhǎng)、器件工藝、測(cè)試分析的功能極限。

      納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站將圍繞當(dāng)前納米科學(xué)研究領(lǐng)域三個(gè)重大關(guān)鍵問(wèn)題：納米材料和納米器件的規(guī)模可控制備；納米材料與器件尺度效應(yīng)、維度效應(yīng)和界面效應(yīng)；高分辨率、多參量聯(lián)合在線測(cè)試技術(shù)等，展開科研建設(shè)。在互聯(lián)裝備中，重點(diǎn)解決真空獲得、樣品架的傳遞和轉(zhuǎn)移以及圖形生成等三個(gè)工程技術(shù)問(wèn)題。根據(jù)平臺(tái)屬性，實(shí)驗(yàn)站還將提供不同級(jí)別真空系統(tǒng)的用戶站點(diǎn)。

      與會(huì)專家認(rèn)為，“納米真空互聯(lián)綜合實(shí)驗(yàn)站”這類大型基礎(chǔ)科學(xué)設(shè)施提供的研究平臺(tái)，將在多個(gè)領(lǐng)域起到的重要作用。例如，為了解決性氣候變化，國(guó)家戰(zhàn)略性能源短缺，及城市環(huán)境污染等關(guān)鍵問(wèn)題，率能量轉(zhuǎn)換與能量存儲(chǔ)技術(shù)必將成為未來(lái)幾十年科學(xué)界的研究重點(diǎn)，而要實(shí)現(xiàn)能量轉(zhuǎn)換及存儲(chǔ)效率上的突破，新材料的探索及其納米尺度的結(jié)構(gòu)與界面的控制至關(guān)重要。而可以實(shí)現(xiàn)可控的材料制備，納米加工與封裝，以及在各種條件下的材料測(cè)試和表征的大科學(xué)裝置，將為這一領(lǐng)域研究提供*的重要平臺(tái)。