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英特爾愛爾蘭芯片制造工廠迎來首臺(tái)EUV光刻機(jī)
2022-04-12 14:34:08cnBeta.COM閱讀量：515 我要評(píng)論
【化工機(jī)械設(shè)備網(wǎng) 熱點(diǎn)關(guān)注】芯片巨頭英特爾在位于愛爾蘭 Leixlip 的 Fab 34 工廠，完成了首臺(tái)極紫外(EUV)光刻機(jī)的安裝。兩個(gè)月前，該公司才開始在該晶圓廠安裝首臺(tái)芯片制造設(shè)備。而由荷蘭阿斯麥(ASML)制造的這臺(tái) EUV 光刻機(jī)，先是被運(yùn)到了美國俄勒岡州的 Hillsboro，接著又被轉(zhuǎn)運(yùn)到了歐洲。
上周，芯片巨頭英特爾在位于愛爾蘭 Leixlip 的 Fab 34 工廠，完成了首臺(tái)極紫外(EUV)光刻機(jī)的安裝。兩個(gè)月前，該公司才開始在該晶圓廠安裝首臺(tái)芯片制造設(shè)備。而由荷蘭阿斯麥(ASML)制造的這臺(tái) EUV 光刻機(jī)，先是被運(yùn)到了美國俄勒岡州的 Hillsboro，接著又被轉(zhuǎn)運(yùn)到了歐洲。
目前尚不清楚英特爾為何要讓這臺(tái)機(jī)器繞地球這么一大圈，一種猜測(cè)是英特爾在俄勒岡州進(jìn)行了早期檢測(cè)、以確保光刻機(jī)符合該公司的嚴(yán)格要求。
此外預(yù)計(jì)這臺(tái)機(jī)器是安裝在愛爾蘭 Fab 34 工廠中的第一臺(tái) EUV 光刻機(jī)，并作為英特爾 7nm(Intel 4)工藝技術(shù)的關(guān)鍵推動(dòng)者。
據(jù)說這套設(shè)備總共動(dòng)用了 4 架未知型號(hào)的波音飛機(jī)來空運(yùn)，然后由 35 輛卡車陸運(yùn)至 Fab 34 。
最后，英特爾透露，自去年 12 月以來，這些“工具”已分批發(fā)送，但直到最近才完成組裝。
原標(biāo)題:英特爾愛爾蘭Fab 34芯片制造工廠迎來首臺(tái)EUV光刻機(jī)
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