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深圳市順心科技有限公司

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SEM Mill離子束切割拋光系統(tǒng)

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產(chǎn)品型號(hào)1061

品牌

廠商性質(zhì)其他

所在地深圳市

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產(chǎn)品分類 品牌分類

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深圳市順心科技有限公司

經(jīng)營(yíng)模式：其他

商鋪產(chǎn)品：144條

所在地區(qū)：廣東深圳市

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

SEM Mill 作為采用技術(shù)制造的離子束切割拋光系統(tǒng)，提供可靠、高性能的樣品制備能力，能夠在最短時(shí)間內(nèi)解決各類掃描電鏡制樣困難材料的制樣問題，同時(shí)具備緊湊、精確以及高穩(wěn)定性的優(yōu)點(diǎn)。

詳細(xì)介紹

技術(shù)簡(jiǎn)介

離子拋光技術(shù)通常采用惰性氣體氬，通過將氬氣離子化后，在電場(chǎng) 加速作用下轟擊到樣品表面，利用動(dòng)量轉(zhuǎn)移的方式進(jìn)行可控速率條件下，物理濺射轟擊的方式對(duì)樣品表面進(jìn)行精細(xì)拋光處理，滿足掃描電鏡/EBSD等表面敏感分析技術(shù)制樣需求子拋光技術(shù)通常采用惰性氣體氬，通過將氬氣離子化后，在電場(chǎng) 加速作用下轟擊到樣品表面，利用動(dòng)量轉(zhuǎn)移的方式進(jìn)行可控速率條件下，物理濺射轟擊的方式對(duì)樣品表面進(jìn)行精細(xì)拋光處理，滿足掃描電鏡/EBSD等表面敏感分析技術(shù)制樣需求。

產(chǎn)品特點(diǎn)

? 兩支獨(dú)立可調(diào)電磁聚焦離子槍

? 同時(shí)具備高能量(快速拋光)和低能量(精細(xì)修復(fù))

? 超寬加速電壓范圍：100eV到10kV，不同加速電壓下，離子束束斑均保持最細(xì)束斑狀態(tài)

? 每支離子槍均配備對(duì)應(yīng)法拉第杯進(jìn)行離子束直接探測(cè)

? 采用可調(diào)節(jié)10英寸觸屏控制系統(tǒng)，人機(jī)界面友好，操作簡(jiǎn)潔

? 配備橫截面切割裝載及定位工具

? 配備磁編碼器，帶有樣品測(cè)厚功能，自動(dòng)匹配拋光位置，保證的拋光質(zhì)量和效率

? 拋光角度范圍：0°到 +10°連續(xù)可調(diào)

? 具備原位實(shí)時(shí)觀察及記錄拋光過程功能

? 樣品可360°連續(xù)旋轉(zhuǎn)或搖擺，離子束自動(dòng)避讓樣品夾

? 可通過時(shí)間或溫度自動(dòng)停止

? 可選液氮冷臺(tái)配置，去除熱效應(yīng)對(duì)樣品的損傷

? 可選真空或惰性氣體轉(zhuǎn)移裝置，隔絕樣品與水氧接觸

技術(shù)規(guī)格

Model 1061 SEM Mill 技術(shù)規(guī)格
離子源	兩支TrueFocus電磁聚焦離子源可變能量范圍100 eV到10 keV ，束流密度可達(dá)10 mA/cm2 拋光角度 0° 到 +10?連續(xù)可調(diào)可選擇單槍或雙槍工作模式兩支離子槍能量可獨(dú)立調(diào)節(jié) 可選手動(dòng)或自動(dòng)馬達(dá)離子槍離子束束斑大小300μm —5mm連續(xù)可調(diào)
樣品臺(tái)	樣品尺寸: 橫截面切割：Max 25x10x7mm 平面拋光：32mm直徑 x 25mm 高 360? 旋轉(zhuǎn)且轉(zhuǎn)速可調(diào)，同時(shí)樣品臺(tái)可搖擺磁編碼器提供定位精度
液氮冷臺(tái)	可選液氮冷臺(tái)升級(jí)，冷卻時(shí)間分為3-5小時(shí) 和18小時(shí)以上兩種溫度<-170℃~室溫，具備自動(dòng)程序化控溫設(shè)計(jì)
拋光速率	500μm/Hr(Si@10keV)
真空系統(tǒng)	80L/s分子泵加多級(jí)無油隔膜泵配有寬量程規(guī)，無需清潔
真空轉(zhuǎn)移	可選真空轉(zhuǎn)移或惰性氣體保護(hù)下轉(zhuǎn)移升級(jí)
氣源	99.999%高純氬氣，使用壓力 15 psi 配備精確氣體質(zhì)量流量計(jì)
人機(jī)界面	10英寸觸屏設(shè)計(jì)，可實(shí)現(xiàn)配方編程控制可選遠(yuǎn)程燈光指示器
電源	220/240 VAC, 50/60 Hz, 720 W
尺寸/重量	68cm(W)X55cm(H)X 54cm(D)，73kg

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