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日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵技術(shù)資料

2016-8-31　閱讀(197)

日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵一、產(chǎn)品簡介

CFB-3600渦輪分子泵的葉輪采用變截面葉齒，增強(qiáng)了葉片強(qiáng)度、減輕了轉(zhuǎn)子重量，縮短了啟動時間，降低了機(jī)械損耗，增加了使用壽命。

日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵二、壓縮比曲線和抽數(shù)曲圖

日本ULVAC CFB-3600（LF）渦輪分子泵三、主要性能指標(biāo)

型號		CFB-3600
進(jìn)氣口法蘭	—	LF400
排氣口法蘭	—	LF100
抽氣速率	L/s	3600
壓縮比N2/H2	—	1×108/5×102
極限壓強(qiáng)	Pa	2×10-6
電機(jī)轉(zhuǎn)速	rpm	12600
啟動時間	min	＜10
停機(jī)時間	min	＜20
振動值	μm	≤0.15
前極泵	L/s	30-70
冷卻水溫度	℃	≤25
泵體烘烤溫度	℃	<120
冷卻水流量	L/min	1
安裝方向	—	垂直±5°
重量	kg	～100

四、安裝尺寸圖

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