詳細(xì)介紹
設(shè)計(jì)用于以下應(yīng)用:旋涂或噴涂,顯影,烘焙和冷卻以及EBR
特點(diǎn):
溫度模塊(電動(dòng))
加熱板系統(tǒng)帶有電動(dòng)升降頂針
加熱板模塊(300°C)
電子驅(qū)動(dòng)的升降針
標(biāo)準(zhǔn)的頂針由不銹鋼和PEEK制成(250°C)
升降針,可編程(根據(jù)不同停止的速度和步長(zhǎng))
加熱板表面上的真空管路用于固定基板
手動(dòng)控制加熱板的頂蓋
集成式排氣
半自動(dòng)控制器單元:
7英寸彩色觸摸屏
配方編輯器來編寫,管理和配置
實(shí)際可視化效果監(jiān)控
用于配方,流程,日志文件的庫(kù)功能(例如,錯(cuò)誤跟蹤歷史記錄)
具有密碼保護(hù)服務(wù)訪問權(quán)限的用戶管理
通過USB或Intranet連接進(jìn)行更新和備份功能
產(chǎn)品參數(shù):
基板尺寸:大直徑200毫米(直徑8英寸)圓片或200x 200毫米(8 x8英寸)方片;
溫度范圍:300°C *,以1°C/步可調(diào);
溫度精度:在100°C時(shí)<士1°C;
升降針(1套):直徑50 mm(直徑2英寸)到直徑200 mm(直徑8英寸)或200x 200mm(8 x8英寸);
加熱臺(tái)表面:由硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁制成;
加熱臺(tái)頂蓋:由微拋光不銹鋼制成;
加熱臺(tái)外殼:由PP制成;
控制器單元:7寸觸摸屏;
電壓:230(110)VAC / 1Ph / N / PE / 50(60)赫茲;
CDA:8 bar,管外徑6 mm;
真空:-0.8 bar / -600bar,管外徑6 mm;
排氣爐:1 x 外徑 40毫米,80立方米/小時(shí);
氮?dú)猓蛇x):4土2bar,管外徑6 mm;