LEGEX系列為超高精度CNC三坐標(biāo)測量機，具有世界上g精度水平，對所有可能產(chǎn)生誤差的因素進(jìn)行嚴(yán)格分析并消除或da程度地降低其影響。 ? 固定橋結(jié)構(gòu)和精密空氣軸承在高剛性導(dǎo)軌上運行確保了良好的運動穩(wěn)定性和超高幾何精度。采用FEM結(jié)構(gòu)分析模擬的*測試保證了幾何運動精度，使負(fù)荷及其它變量波動造成的誤差降至小。另外，其他多種技術(shù)如抗振測量等用于驅(qū)動單元結(jié)構(gòu)中，實現(xiàn)了超高精度。 ? 配備有三豐超高精度標(biāo)尺、熱膨脹系數(shù)幾乎為零的超高精度微晶玻璃尺以及高分辨力、高性能的反射型線性編碼器。為其*性能提供了的位置檢測功能。 ? LEGEX高精度系列三坐標(biāo)測量機配有溫度補償功能，因此設(shè)置環(huán)境不需要恒溫控制室，就可以在18-22oC的溫度范圍內(nèi)保證主機精度。 ? 提供豐富的選件，包括觸發(fā)式和非觸發(fā)式測頭，數(shù)據(jù)處理部等支持超高精度測量，如要求高尺寸精度的齒輪、軸承、透鏡、硬模或滾動轉(zhuǎn)子。 規(guī)格 項目 型號 LEGEX 574 LEGEX 774 LEGEX 776 LEGEX 9106 LEGEX 12128 測量范圍 X軸 500mm 700mm 700mm 900mm 1200mm Y軸 700mm 700mm 700mm 1000mm 1200mm Z軸 450mm 450mm 600mm 600mm 800mm 測量方法 超高精度線性編碼器 大測量速度 200mm/s 大加速度 1000mm/s2 分辨力 0.00001mm 精度 (JIS B7440-2)*1 (2003) MPEE 【L:測量長度 (mm)】 (0.35+L/1000)μm (0.6+1.5L/1000) μm MPEP 0.45μm 0.6μm MPETHP 1.4μm 1.8μm 導(dǎo)向系統(tǒng) 各軸均采用氣浮軸承 工作臺 材料 鑄鐵*2 尺寸 550×750mm 750×750mm 750×750mm 950×1050mm 1250×1250mm 緊固用螺釘孔 M8x1.25mm (工件固定用) 大測量高度 706mm 696mm 867mm 861mm 1056mm 大負(fù)載 200kg 500kg 500kg 800kg 1000kg 重量 3900kg 5000kg 5100kg 6500kg 10500kg 空氣供給 氣壓 0.4MPa*3 0.5MPa*4 0.4MPa*3 消耗量 120L/min*5 (正常情況下) *1 使用測頭: MPP310Q。 可確保精度的溫度范圍: 18 - 22°C, 溫度變化: 0.5K/h, 溫度梯度: 1K/m。 *2 也可選擇陶瓷涂層。 *3 需要0.5MPa-0.9MPa氣壓。 *4 需要0.55MPa-0.9MPa氣壓。 *5 需要160L/min以上氣壓。