1.       結(jié)合高低壓泵浦的特性，具備高低壓力并用的功能。

2.        葉片泵浦省能源，低噪音平穩(wěn)的特性，搭配齒輪泵浦高效率的性能，是工程師在系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí)的優(yōu)良選擇。

3.        節(jié)省體積，縮小機(jī)械空間，節(jié)省能源。

4.        性能優(yōu)異的齒輪泵浦可作為高壓泵浦或系統(tǒng)冷卻用。

5.        標(biāo)準(zhǔn)法蘭安裝及維護(hù)容易。

6.        性能參數(shù)請(qǐng)參考相關(guān)之各別泵浦。

標(biāo)準(zhǔn)

1.JB/T10771-2007真空技術(shù)復(fù)合分子泵；

2.JB/T9125-2007真空技術(shù)渦輪分子泵；

3.SJ3192-1989立式渦輪分子泵型式與基本參數(shù)；

4.SJ/T10097-1991F-250/1400型立式渦輪分子泵；

5.SJ/T11085-1996立式渦輪分子泵通用技術(shù)條件；

6.GB/T7774-2007真空技術(shù)渦輪分子泵性能參數(shù)的測量

組合泵浦啟動(dòng)渦輪分子泵(需先接通冷卻系統(tǒng))。如果分子泵入口處裝有液氮冷阱，則應(yīng)在泵加速到額定轉(zhuǎn)速后(一般需5~10min)加注液氮。粗抽系統(tǒng)的配置隨真空室的容積的大小而有所不同。對(duì)500L/s或更小的渦輪分子泵來說，可采用一臺(tái)雙級(jí)旋片泵；1000L/s以上的渦輪分子泵則采用以機(jī)械泵為前級(jí)泵的羅茨泵機(jī)組。在壓力為100到150Pa時(shí)關(guān)閉粗抽閥，把真空室切換到渦輪分子泵上。對(duì)某些泵，這樣做會(huì)引起輕微而滯后的瞬時(shí)減速，但這對(duì)抽氣并無影響。正如擴(kuò)散泵抽氣系統(tǒng)那樣，渦輪分子泵系統(tǒng)中的主要的物質(zhì)是水蒸氣，其抽氣時(shí)間將受液氮冷阱抽速的支配。