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Aston™ 過程質(zhì)譜儀保護環(huán)境免受半導體有害氣體排放污染
閱讀：217 發(fā)布時間：2022-4-21
Aston 過程質(zhì)譜儀保護環(huán)境免受半導體有害氣體排放污染
半導體和薄膜太陽能工藝使用并產(chǎn)生各種工藝氣體和顆粒材料副產(chǎn)品, 有害氣體必須以受控方式進行處理. 許多廢料的處理受環(huán)境法規(guī)的規(guī)定，如美國 NESHAP 標準. 此規(guī)則規(guī)定的主要有害空氣污染物包括但不限于五種化學品, 它們占有害空氣污染物排放總量的90%以上 (鹽酸 HCl, 氟化氫 HF, 乙二醇醚, 甲醇, 二甲苯)
美國對混合空氣毒物工藝通風孔 (有機和無機) 的排放限值為 14.22 PPM（按體積計算）. 監(jiān)測并銷毀其他 PFC (全氟化碳氣體) 和硅烷 SiH4 等自燃氣體.
問題
減排面臨著多重挑戰(zhàn). 需要監(jiān)測來自減排系統(tǒng)的環(huán)境廢氣, 以確保符合法規(guī)要求, 需要一款具有高靈敏度, 實時, 現(xiàn)場計量, 且精度達到 PPM 級的質(zhì)譜分析儀. 此外, 優(yōu)化減排, 要求測量進入減排系統(tǒng)的污染物濃度的廢工藝氣體, 以便在減排燃燒氣體消耗量的同時調(diào)節(jié)氮氣稀釋, 以確保有效和高效地銷毀污染物. 天然氣 (甲烷) 通常用于普通燃燒洗滌減排系統(tǒng)中的高溫熱氣體分解, 優(yōu)化其使用可降低減排過程成本和二氧化碳排放.
上海伯東 Aston™ 質(zhì)譜分析儀提供有害氣體排放污染解決方案
許多減排系統(tǒng)是“開環(huán)"運行的, 導致天然氣和氮氣消耗量較高. 此外, 通常不會對減排成功的分析數(shù)據(jù)進行監(jiān)控和記錄, 從而使公司承擔環(huán)境監(jiān)管責任. 使用 Atonarp 的 Aston 等離子體質(zhì)譜儀, 可以根據(jù)進入的廢氣濃度和測量的排放氣體數(shù)據(jù), 記錄日志, 對燃燒過程進行現(xiàn)場優(yōu)化控制, 以記錄環(huán)境合規(guī). Aston 過程質(zhì)譜儀能夠承受嚴酷的 PFC 和酸性 (如 HF 和 HCl ）氣體, 并能提供低至 PPB 水平的靈敏度. 通過快速, 準確的現(xiàn)場計量, 實現(xiàn)高效的減排氣體監(jiān)測和廢氣環(huán)境合規(guī)性.
Atonarp Aston™ 質(zhì)譜分析儀技術參數(shù)
類型 | Impact-300 | Impact-300DP | Plasma-200 | Plasma-200DP | Plasma-300 | Plasma-300DP |
型號 | AST3007 | AST3006 | AST3005 | AST3004 | AST3003 | AST3002 |
質(zhì)量分離 | 四級桿 | |||||
真空系統(tǒng) | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 | 分子泵 |
檢測器 | FC /SEM | |||||
質(zhì)量范圍 | 2-285 | 2-220 | 2-285 | |||
分辨率 | 0.8±0.2 | |||||
檢測限 | 0.1 PPM | |||||
工作溫度 | 15-35“℃ | |||||
功率 | 350 W | |||||
重量 | 15 kg | |||||
尺寸 | 299 x 218 x 331 LxWxH(mm) | 400 x 240 x 325 LxWxH(mm) | ||||
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