全自動芯片清洗機/蘇州尚純

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更新時間：2020-07-29 17:26:00瀏覽次數：267次

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蘇州尚純半導體設備有限公司

經營模式：生產廠家

商鋪產品：9條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

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產品簡介

全自動芯片清洗機
設備用途：主要對處理后的硅芯進行腐蝕清洗
適用對象：多晶硅芯、橫梁、硅芯原料等
控制模式：手動控制模式、全自動控制模式

詳細介紹

全自動芯片清洗機

設備用途：主要對處理后的硅芯進行腐蝕清洗

適用對象：多晶硅芯、橫梁、硅芯原料等

控制模式：手動控制模式、全自動控制模式

項目	數據
基本規(guī)格	機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）機臺主體強度結構：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）
適用對象	名稱規(guī)格（mm）長度（mm）每批清洗量（預估）多晶硅芯 Φ7-10 2000-2800 24-26支橫梁 Φ7-10 300-500 若干基座料 Φ40-50 250-300 若干硅芯原料 Φ120-150 2000-2800 1支
選配模塊	采用純水隔離式或風簾隔離式可選更全面的全自動干燥系統(tǒng) 可結合客戶端通訊協定資料存儲、CIM系統(tǒng)、資料分析存儲建立管理
排風系統(tǒng)	排風強勁合理設計，為了排風效果達到要求，排風通道內設有風量導流板，為了方便操作人員及時根據情況調節(jié)排風量，操作人員可小范圍調節(jié)機臺排風背板上的可拆卸式排風口再配合機臺視窗上的可調節(jié)進氣模塊，從而達到使用效果
機臺特點	刻蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性 QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據制程工藝設定更全面的自動干燥系統(tǒng) 管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機及絲杠導軌等關鍵核心部件均采用進口標準產品保修便利，非期貨庫存品工廠內均建立安全庫存品全程自動化控制，幾何曲線加減速運動，沖擊小運行平穩(wěn)，機械臂定位精度高多級別用戶工藝數據庫，可供用戶使用和存儲作業(yè)區(qū)內有害氣體多種安全主動及被動保護相結合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全客制化設計能力佳，搞設計能力滿足客戶制程工藝需要
機械臂裝置	Robot的工藝路徑種類 N種（設備出廠前載入PLC內）機械手傳送定位精度 ≤0.3mm 機械臂走向右進做出或左進右出
制程控制	PLC控制方式
操作界面	全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）
槽體數量	根據制程要求選擇定制
設備制造	蘇州尚純半導體設備有限公司