有機溶劑清洗機/蘇州尚純

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更新時間：2020-07-30 09:53:04瀏覽次數(shù)：366次

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  清洗機

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蘇州尚純半導體設備有限公司

經(jīng)營模式：生產(chǎn)廠家

商鋪產(chǎn)品：9條

所在地區(qū)：江蘇蘇州市

聯(lián)系人：邱（銷售）

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產(chǎn)品簡介

有機溶劑清洗機
制程應用：有機溶液剝離工藝、去光阻清洗工藝、去膠清洗工藝、ACE清洗工藝、ICP清洗工藝、去蠟清洗工藝燈
控制模式：手動控制模式、自動控制模式

詳細介紹

有機溶劑清洗機

制程應用：有機溶液剝離工藝、去光阻清洗工藝、去膠清洗工藝、ACE清洗工藝、ICP清洗工藝、去蠟清洗工藝燈

控制模式：手動控制模式、自動控制模式

項目	數(shù)據(jù)
適用對象	硅片 2-12inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 藍寶石晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 砷化鎵晶片2-6inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 碳化硅晶片2-8inch 25Pcs/cassette 1 cassette/Batch Or 2 cassette/Batch 其它襯底晶片
基本規(guī)格	機臺封面：聚丙烯瓷白PP板材（厚度≥10mm）Or China SUS板材（厚度≥2mm）機臺主體強度結(jié)構(gòu)：整體骨架表面噴涂處理Or China SUS 矩形材機臺視窗：透明、抗靜電透明PVC（厚度≥5mm）Or China 鋼化玻璃（厚度≥2mm）
選配模塊	腐蝕液恒溫系統(tǒng) 腐蝕液循環(huán)過濾系統(tǒng) 超（兆聲）系統(tǒng) 全自動供液系統(tǒng) 更全面的全自動烘干系統(tǒng) 消防系統(tǒng) 可結(jié)合客戶端通訊協(xié)定資料存儲、CIM系統(tǒng)、資料分析存儲建立管理
機臺特點	刻蝕工藝自動補藥液保證了工藝槽在運行過程中濃度的穩(wěn)定性 QDR沖洗模塊非常見排序式，可根據(jù)制程工藝設定集成自動干燥系統(tǒng) 管路系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、伺服電機及絲杠導軌等關鍵核心部件均采用進口標準產(chǎn)品保修便利，非期貨庫存品工廠內(nèi)均建立安全庫存品全程自動化控制，幾何曲線加減速運動，沖擊小運行平穩(wěn)，機械臂定位精度高多級別用戶工藝數(shù)據(jù)庫，可供用戶使用和存儲作業(yè)區(qū)內(nèi)有害氣體多種安全主動及被動保護相結(jié)合，保證操作人員作業(yè)環(huán)境及人身安全客制化設計能力佳，搞設計能力滿足客戶制程工藝需要
機械臂裝置	Robot的工藝路徑種類 N種（設備出廠前載入PLC內(nèi)）機械手傳送定位精度 ≤0.3mm 機械臂走向右進做出或左進右出
制程控制	PLC控制方式
操作界面	全圖形化中文彩色人機界面（10.4彩屏）
槽體數(shù)量	根據(jù)制程要求選擇定制
設備制造	蘇州尚純半導體設備有限公司