日立CD-SEM二手現(xiàn)貨掃描電鏡S-9220適用于8英寸晶圓的監(jiān)測(cè)，CD檢測(cè)范圍0.1~2.0μm，吞吐量45wph，放大倍數(shù)1000~300,000。

設(shè)備尺寸和參數(shù)：

主機(jī)尺寸: 1200(W)*1930(D)*1850(H) mm, 1850kg

顯示單元: 600(W)*1360(D)*1850(H) mm, 320kg

電源：535(W)*870(D)*1800(H) mm, 300kg

冷卻水循環(huán)器：407(W)*484(D)*880(H) mm, 55kg

翻新要求：

大修主柱

按要求檢修主柱，包括清洗拋光槍室和陽(yáng)極極片，更換聚光鏡孔徑，清洗聚光鏡極片，清洗物鏡極片，更換O型圈。

更換新槍燈絲和透鏡光圈。

驗(yàn)證高壓電源的工作情況。

修復(fù)二次電子探測(cè)器。

烘烤主柱并抽真空，以驗(yàn)證其符合OEM規(guī)范。

檢查晶圓處理器和X/Y級(jí)的操作。

潤(rùn)滑所有運(yùn)動(dòng)部件。

檢查所有測(cè)量功能并重新校準(zhǔn)。