Gasonics等離子刻蝕系統(tǒng)L3510設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體晶圓的灰化和清洗。Gasonics等離子刻蝕系統(tǒng)L3510 通過產(chǎn)生單原子氧（一種活性物質(zhì)）來做到這一點(diǎn)，它與晶圓表面的光刻膠發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

Gasonics等離子刻蝕系統(tǒng)L3510系統(tǒng)由兩個(gè)主要部分組成：

(1)工藝子系統(tǒng) 工藝子系統(tǒng)包括控制器、微波發(fā)生器、氣流控制、卡式平臺(tái)和機(jī)器人總成。

(2)真空泵 真空泵通常安裝在與主系統(tǒng)隔開的相鄰機(jī)房內(nèi)。泵應(yīng)保持連續(xù)運(yùn)行。