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分辨率 | |
二次電子像 | ≦0.5nm(加速電壓200kV) ≦1.0nm(加速電壓100kV) |
掃描透射像 | 0.16nm(加速電壓200kV) |
透射像(晶格分辨率) | 0.1nm(加速電壓200kV) 0.2nm(加速電壓100kV) |
倍率(24英寸寬屏液晶顯示器) | |
二次電子像 | X100~X150,000,000 |
掃描透射像 | X100~X150,000,000 |
透射像 | X500~X20,000,000 |
電子槍 | |
電子槍 | 肖特基場(chǎng)發(fā)射電子槍 |
加速電壓 | 200kV、100kV |
[樣品系統(tǒng)] | |
樣品臺(tái) | 全對(duì)中側(cè)插式測(cè)角樣品臺(tái) |
樣品尺寸 | 3mmΦ |
傾斜角 | X軸:±25° Y軸:±30°使用(雙傾樣品桿時(shí)) |
移動(dòng)范圍 | X,Y: ±1mm Z: ±0.2mm(馬達(dá)驅(qū)動(dòng)/壓電驅(qū)動(dòng)) |
[選配件] | |
能譜儀(EDS) 電子能量損失譜儀(EELS) CCD數(shù)碼相機(jī)系統(tǒng) TEM/STEM三維斷層掃描系統(tǒng) |
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