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行業(yè)產(chǎn)品

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上海爾迪儀器科技有限公司


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KASHIYAMA SDL Series真空泵

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地上海市

化工機械設(shè)備網(wǎng)采購部電話：0571-88918531QQ:2568841715

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更新時間：2023-01-16 14:05:01瀏覽次數(shù)：106次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：57條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：張經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

詳細介紹

SDL Series

01
FEATURE

Available to large size wafer & FPD

Large capacity available
by combination.
Larger than 150kL/min
also available on demand.

02
FEATURE

Shorter cycle-time


Large capacity around atm. pressure can achieve high speed pumping best for large L/L chamber.

Pumps for solvent evacuation are also lined-up

Major Products

Spec. / ProductsSDL12E50SDL20E50SDL36M60SDL40E60SDL40E201SDL40EW201SDL80201
Max. pumping speed
[L/min] *1		25,00050,00060,00070,00080,000150,000170,000
Ultimate pressure
[Pa] *1		0.80.50.85.0
Supply voltage
(50/60Hz)		3Phase AC200～220V,?380～480V3Phase AC380～440V

*1) Without N2 purge.
* Contact us about international standard compliance. Spec. & name of products are subject to change without prior notice.

S-P Curve

S-P Curve

* S-P curves vary by combination.


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