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青島芯笙微納電子科技有限公司，位于青島市嶗山區(qū)國際創(chuàng)新園，孵化自山東大學(xué)。公司以高端氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器（MFC）、薄膜真空計(jì)（Vacuum?Gauges）、壓力控制器（EPC）等半導(dǎo)體核心零部件的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為主營業(yè)務(wù)，通過自主創(chuàng)新、產(chǎn)學(xué)研合作及成果轉(zhuǎn)化、行業(yè)整合等手段，實(shí)現(xiàn)快速發(fā)展，助力國家半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。?????????公司現(xiàn)有發(fā)明專利21項(xiàng)，實(shí)用新型專利12項(xiàng)，國家一級計(jì)量證書、...
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