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PSM等離子體質(zhì)量和能量分析質(zhì)譜儀

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介

產(chǎn)品介紹INTRODUCTIONPSM是一臺(tái)差式泵質(zhì)譜儀（In-LinePlasmaAnalysersforNeutrals,RadicalsandIonAnalysis），分析等離子過(guò)程中的二次離子和中性粒子

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品介紹INTRODUCTION

  • PSM是一臺(tái)差式泵質(zhì)譜儀（In-Line Plasma Analysers for Neutrals, Radicals and Ion Analysis），分析等離子過(guò)程中的二次離子和中性粒子。
  • 差式泵歧管，通過(guò)法蘭與過(guò)程反應(yīng)室連接
  • 電子附著選件，具有可調(diào)諧的離子源，用于表觀電勢(shì)MS
  • Penning規(guī)和互鎖裝置可提供過(guò)壓保護(hù)
  • 信號(hào)選通分辨率1μs，用于研究脈沖等離子體或能量、質(zhì)量分布VS時(shí)間
  • 標(biāo)準(zhǔn)分析中性粒子、自由基，+ve / -ve 離子分析可選
  • 靈敏度高 / 極穩(wěn)定的3級(jí)過(guò)濾四極桿
  • 質(zhì)量數(shù)范圍：0 ~ 2500amu
  • 脈沖離子計(jì)數(shù)檢測(cè)器，7個(gè)數(shù)量級(jí)的動(dòng)態(tài)范圍
  • 能量分析選件，標(biāo)準(zhǔn) ±100eV（1000eV可選 ）
  • Mu-Metal, Radio-metal屏蔽可選， 高壓操作可選
  • 通過(guò)RS232、RS485或Ethernet LAN ，軟件MASsoft 控制

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