TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水機(jī)維修

半導(dǎo)體專用溫控裝置（Chiller）主要用于半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室溫度的精準(zhǔn)控制，主要由熱交換器、循環(huán)泵、壓縮機(jī)和控制系統(tǒng)構(gòu)成的一個(gè)自我平衡的循環(huán)裝置，屬于生產(chǎn)過程中的溫控設(shè)備。在常規(guī)PID控制算法的基礎(chǔ)上加入了預(yù)測(cè)控制技術(shù)和自適應(yīng)控制技術(shù)，并采用變頻控制及兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制，顯著地提高了Chiller的穩(wěn)定性、控制精度和響應(yīng)速度。

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）， 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）， 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制

應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)蝕刻裝置，CMP（工藝機(jī)械拋光）， 實(shí)驗(yàn)室精密裝置、 高精度測(cè)試儀器、醫(yī)美設(shè)備、固態(tài)激光器、模具溫控等。

變頻控制，智能PID控制
預(yù)測(cè)控制及自適應(yīng)控制
模塊化功能定制，高效節(jié)能
兩級(jí)閉環(huán)節(jié)能控制

TEL/TOKYO ELECTRON Chiller冰水機(jī)維修 應(yīng)用領(lǐng)域

激光加工、印刷設(shè)備、清潔設(shè)備、焊接設(shè)備、高分析儀、LCD制造設(shè)備、模具溫調(diào)、高頻感應(yīng)加熱設(shè)備、X射線（數(shù)字式）設(shè)備等

zonglen半導(dǎo)體器件高低溫測(cè)試設(shè)備chiller

溫度范圍：-20°C~+90°C

控溫精度：±0.1℃

觸摸屏操作，人機(jī)交互界面

連鎖控制、可靠性高

定時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)、液面降低、停電復(fù)位、防凍功能

溫度波動(dòng)小

半導(dǎo)體冷卻裝置Chiller是專為半導(dǎo)體、元器件、芯片等產(chǎn)品的高低溫溫度模擬測(cè)試而設(shè)計(jì)的控溫設(shè)備，在生產(chǎn)流程中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。該裝置運(yùn)用PID控制算法和自適應(yīng)控溫技術(shù)，其核心組件包括熱交換器、循環(huán)泵以及壓縮機(jī)等，確保了溫度控制的精確與穩(wěn)定。