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英福康Transpector XPR3L 氣體分析系統(tǒng)四極質(zhì)譜儀

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商鋪產(chǎn)品：10條

所在地區(qū)：

聯(lián)系人：王建峰,趙彬山

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

XPR3L 提供的 PVD 過(guò)程監(jiān)控解決方案可以實(shí)時(shí)提供有關(guān)過(guò)程氣體壓力、氣體比率、污染級(jí)別、雜質(zhì)和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過(guò)程良率和產(chǎn)品質(zhì)量。XPR3L 提供的本底監(jiān)控解決方案可以通過(guò)快速檢測(cè)和診斷泄漏及污染，提高預(yù)防性維護(hù)程序的有效性和效率。

詳細(xì)介紹

Transpector XPR3L 氣體分析系統(tǒng)

 

通過(guò)監(jiān)測(cè)氣體壓力、檢測(cè)污染和查找泄漏，優(yōu)化太陽(yáng)能電池和 LCD 過(guò)程良率


用于監(jiān)控過(guò)程氣體和基本真空條件的工具是 Transpector ® XPR3L 氣體分析系統(tǒng)提供的經(jīng)濟(jì)高效的 RGA。XPR3L 提供的 PVD 過(guò)程監(jiān)控解決方案可以實(shí)時(shí)提供有關(guān)過(guò)程氣體壓力、氣體比率、污染級(jí)別、雜質(zhì)和泄漏情況的信息。此信息可用于大限度提高過(guò)程良率和產(chǎn)品質(zhì)量。XPR3L 提供的本底監(jiān)控解決方案可以通過(guò)快速檢測(cè)和診斷泄漏及污染，提高預(yù)防性維護(hù)程序的有效性和效率。


功能

  • 通過(guò)運(yùn)行高達(dá) 10mTorr（可選 20mTorr）的 UHV，提供經(jīng)濟(jì)實(shí)惠的雙用功能、過(guò)程監(jiān)控和基本真空保證
  • 經(jīng)濟(jì)高效的過(guò)程監(jiān)控器，可用于可擴(kuò)展的生產(chǎn)設(shè)計(jì)
  • 通過(guò)持續(xù)自動(dòng)監(jiān)控過(guò)程氣體壓力、氣體比率和可能存在的污染或雜質(zhì)，提高過(guò)程良率，減少碎片，提高產(chǎn)品質(zhì)量
  • 通過(guò)以高靈敏度和*小可檢分壓強(qiáng)驗(yàn)證基本真空條件、查找泄漏以及鑒別污染，加快 PM 恢復(fù)，提高生產(chǎn)力
  • 可在 1 - 100 amu 質(zhì)量范圍內(nèi)運(yùn)行，能夠檢測(cè)各種材料、污染或副產(chǎn)品，確保您的投資安全，降低投資風(fēng)險(xiǎn)
  • 與 FabGuard 監(jiān)控和分析系統(tǒng)相兼容，提供可靠、的診斷和過(guò)程控制

典型應(yīng)用

  • 太陽(yáng)能/光伏設(shè)備制造
  • LCD 制造
  • PVD 過(guò)程監(jiān)控
  • 監(jiān)控過(guò)程氣體壓力和氣體比率
  • 暴露和鑒別污染
  • 檢測(cè)和查找泄漏（空氣、氦氣、水及其他蒸汽）
  • PM 恢復(fù)/故障排除和驗(yàn)證基本真空




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